真空镀膜中用到的磁悬浮压缩机系统及维护事项?

发布时间: 20-11-05 浏览量: 39

  真空镀膜技术是磁悬浮压缩机应用技术的一个重要分支,它已普遍地应用于光学、电子学、能源开发,理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、外表科学以及科学研讨等范畴中。真空镀膜所采用的办法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流堆积镀以及分子束外延等。如果真空镀膜的目的是为了改动物质外表的物理和化学性能的话,这一技术无疑是真空外表处置技术中的重要组成局部。在元件方面,在真空中蒸发镍铬,能够制造电阻,制造电容器,蒸发硒能够得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡能够制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还能够用于制造超导膜和惯性约束剧变反响用的微珠镀层。此外还能够对珠宝、钟表外壳外表、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜,以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品,如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、高档床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。

  


  真空镀膜设备不间断使用十二个月以上,里面的抽速就会变慢,这就要及时的做清洗工作,那么如何对真空镀膜设备进行全方面的维护呢?

  首先充入大气,拆去联结水管,卸去电炉盘和喷嘴,泵腔及泵胆分三次清洗,先用汽油将清洗一遍,再用洗衣粉清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净。

  等到晒干之后,重新加入泵油,装好泵胆,并装回机体,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

  真空镀膜设备每完成二百个镀膜程序以上,应清洁工作室一次,镀膜设备厂家表明用烧碱饱和溶液反复擦洗真空室内壁,注意安全不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤,目的是使镀上去的膜料铝与烧碱发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

  真空镀膜设备里面的粗抽磁悬浮压缩机连续工作三十天就要换新油,真空镀膜机泵油使用过久,可能抽入水分、杂质及其它原因,而使用油粘性变差,真空下降,故需要更换泵油,将泵内的旧油全部排放出来。拧回放油螺栓,加入无杂质真空油至额定量。 !


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